微孔陶瓷吸盘具有平面度、平行度高,组织致密均匀,强度高,透气性好,吸附力均匀,易于修整等特点;
加工对象:2、3、4、5、6、8、12 英寸半导体片;
配套机床:减薄机、划片机、清洗机等。
吸盘类型:微孔陶瓷
底座及边框可选材质:铝合金、不锈钢、陶瓷。
尺寸范围:φ5mm-φ500mm
微孔尺寸:5-700um
气 孔 率:30-40%
透气均匀性:10×10mm 区域内压差 ±3Kpa
可根据用户要求设计和制造各种非标吸盘。